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油封式真空泵分類有哪些?


1、旋片式真空泵

轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近,在轉子槽內裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變容積。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵,產品已經系列化。旋片泵有單級和雙級兩種,一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數是單工作腔結構,常用兩個徑向滑片,也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應用。

2、滑閥式真空泵

在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而把泵腔分成兩個可變容積。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。

3、定片式真空泵

在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。定片式真空泵抽速較小,有單級、雙級之分,雙級泵的極限真空可達10-1Pa。泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易,但由于其工作性能不如旋片泵,所以目前已經很少生產和應用。

4、余擺線式真空泵

在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。泵的動平衡性好,所以泵運轉較平穩、振動亦小,轉速可以提高,可以做到尺寸小、抽速大,適合發展為大抽速的機械真空泵。由于吸氣管路短而粗,有利于提高低壓力下的抽速。因此,在低壓范圍內(1~l00Pa)余擺線泵的抽速特性曲線優于滑閥泵。余擺線泵的轉子和泵體是一對共軛齒形副的嚙合運動,所以對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。余擺線泵適應較高溫度的工作環境,可以通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度(即成為余擺線熱泵),用來抽除大量的可凝性水蒸汽。

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